電子顯微鏡-環(huán)境控制解決方案-主動防振臺-隔音箱 -消磁器

電子顯微鏡-環(huán)境控制解決方案-主動防振臺-隔音箱 為了獲得準確的圖像，電子束、樣品和探測器之間必須具有很高的連貫性，這使得儀器容易受到環(huán)境振動的影響。電子顯微鏡是相對大型的儀器，通常內(nèi)置有被動振動隔離機制。但是，雖然它們對高頻振動相對不敏感，SEM仍然極易受到低頻振動的影響，尤其是建筑物的振動。SEM廠商制定了儀器正常運行的最大可接受電磁干擾，振動和聲音噪聲標準。在安裝前，SEM廠商通常需要對振動測量設(shè)備進行現(xiàn)場勘測，如果現(xiàn)場不符合規(guī)范，則客戶需要簽署豁免書，表明儀器可能無法達到最佳性能。因此，將SEM放置在建筑物較高樓層或地震振動級別明顯的區(qū)域時，通常需要輔助隔振系統(tǒng)。在這種情況下，建議使用主動防振臺。

顯微鏡對EMI也很敏感，這是由于成像技術(shù)利用了電磁力電子。所以在安裝SEM時，應注意不要將SEM放在靠近大量EMI來源的地方，例如電梯，移動車輛或HVAC機械。如果存在過多的EMI時，用戶則需要在SEM周圍構(gòu)建一個大型EMI屏蔽層或安裝EMI消除系統(tǒng)。

電子顯微鏡-環(huán)境控制解決方案-主動防振臺-隔音箱

電子顯微鏡正在推動納米級技術(shù)的發(fā)展。SEM將樣本圖像放大一百萬X倍以上來觀察極小的特征尺寸，這就要求極其精確的數(shù)據(jù)質(zhì)量和絕對的環(huán)境穩(wěn)定性。

二十多年來，Herzan一直專注于研究環(huán)境穩(wěn)定性，其產(chǎn)品涵蓋了電子顯微鏡適用的所有形式的環(huán)境隔振系統(tǒng)，為無數(shù)應用（尤其是電子顯微鏡）提供聲學，振動和EMI隔離解決方案。Herzan希望與全球研究人員合作，促進數(shù)據(jù)采集發(fā)展。

1、解決方案：AVI系列 （問題：振動噪音）

AVI系列是一款緊湊型、模塊化的六自由度隔振系統(tǒng)，用于抵消工作環(huán)境對靈敏度高的精密設(shè)備產(chǎn)生的不必要振動，以提高精密設(shè)備的性能，具有卓越的性能及通用性。AVI系列能夠提供一致且可靠的亞赫茲振動隔離性能，是在環(huán)境中遭遇低頻振動噪聲的所有電子顯微鏡的理想解決方案。

2、解決方案：模塊化/面板式隔音箱 （問題：聲學噪音）

Herzan精心闡述了每個電子顯微鏡隔音箱的設(shè)計，以代表每種應用的具體需求。結(jié)合每種實驗室環(huán)境特有的可訪問性和形狀適應性，Herzan的模塊化和面板式隔音箱為用戶提供物超所值的最佳解決方案。

3、解決方案：Spicer系統(tǒng) （問題：EMI噪音）

Spicer磁場消除系統(tǒng)可為高分辨率電子顯微鏡提供經(jīng)濟高效，免維護的環(huán)境磁場屏蔽。 Spicer系統(tǒng)為交流和直流電場提供了卓越的消除效果，可在較寬的頻率范圍內(nèi)顯著降低EMI。

4、其他解決方案：

• 現(xiàn)場調(diào)查分析設(shè)備
• 電子顯微鏡起重設(shè)備
• AVI系列的低頻隔振升級（LFS系統(tǒng)）
• 假底平臺

SEM圖像對比圖：

電子顯微鏡簡述：

1、發(fā)展歷史

第一臺掃描電子顯微鏡（SEM）于1935年起源于Max Knoll。該設(shè)計在接下來的幾年中由Manfred von Ardenne進一步開發(fā)。盡管有這些早期的貢獻，查爾斯·奧特利教授還是公認為掃描電子顯微鏡之父。在1950年代和1960年代，劍橋大學的Oatley教授開發(fā)并完善了這項技術(shù)，使其成為可商業(yè)化的儀器。

SEM在色譜柱的頂部裝有電子槍，該電子槍以熱電子方式產(chǎn)生電子束。當該光束沿色譜柱向下傳播時，線圈將作為透鏡進行調(diào)節(jié)，這些透鏡會聚焦光束并使光束在真空室中的樣品上形成光柵。當電子束掃描樣品時，二次電子從樣品中發(fā)射出來。腔室內(nèi)的探測器收集這些電子以產(chǎn)生樣品圖像。

與光學顯微鏡不同，SEM不受可見光衍射極限的限制。這使研究人員能夠以數(shù)十萬倍的倍率成像。該技術(shù)還保持了極好的景深，使用戶可以清楚地分辨出樣品的表面特征。

除了主要優(yōu)點外，掃描電子顯微鏡還被證明是一種通用平臺，可增加簡單成像以外的功能。 可以用場發(fā)射槍（FEG）替代或補充熱電子槍，這樣可以大幅提高SEM的空間分辨率。 SEM可以配備聚焦離子束（FIB）功能，從而進行離子束研磨和沉積。能量色散X射線光譜儀（EDS或EDX）允許用戶使用電子束撞擊樣品時產(chǎn)生的X射線分析樣品的化學成分。通過在腔室添加探針，用戶可以分析樣品的導電率。SEM平臺也可以裝配用于光刻和微加工應用。

2、典型應用

• 數(shù)據(jù)存儲
• 能源研究
• 故障分析
• 法醫(yī)取證
• 材料科學
• 醫(yī)療器械
• 采礦與地質(zhì)學
• 藥物研究
• 半導體研究